可動範囲

ボールねじピッチ

耐荷重（中心位置）

繰り返し精度

​フレーム構造

​

稼働ステップ

移動平行度

ステージ重量

リミットスイッチ

ウェハチャック（オプション）

​

​

​

200mm X-Y軸

2mm

2.27 kg

+/- 5 μm

a) 高精度仕上げアルミプレート

b) ステンレス製チャンネル

0.04 μm

30 μm

5.44 kg

機械式

50, 75, 100, 150, 200, 300 mm

複数の倍率設定

高速スキャン

モザイク

​任意設定可能な不具合報告書

シングル・スキャン認定

ウェハサイズ、欠陥タイプ、
スキャン解像度の設定オプション

各種試料チャックサイズ

​自動ウェハ・ローダー

全自動対応

​コントロール

ステージ、フォーカス、ノーズピース、イルミネーション、カメラは全自動でコントロールします。

​また、任意でマニュアルコントロールも可能です。

​ウェハ・ローダー

キャリア

対応サイズ

外寸（幅 x 長）

ローダー重量

真空

​電源

25枚仕様対応

75, 100, 150, 200, 300 mm

36 cm x 75 cm

34 kg

0.06 MPa（67.7 kPa）

100 V / 200 V

カメラ

ピクセルサイズ

視野サイズ

​フレームレート

4.54 μm

2752 x 2200 pixels

17.4 fps

オプション

AFM（原子間力顕微鏡）

​光学系

照明

レンズ

​微分干渉観測

白色LED（他オプション有り）

5, 10, 20 or 50 x

​ノーマルスキー型