nSpec
®
自動光学検査システム
磁気ヘッド、MEMS、セラミック素子やSiC、GaNなどの化合物半導体の開発・製造現場で工程管理の精度向上と省力化を実現します。
nSpecはすべてのデバイスとウェハーの解析に対応します。
AIを駆使した画像処理ソフトでサブミクロンレベルの欠陥を認識、位置特定、さらに欠陥種類の分類を自動で行います
検査で得られた多種多様な欠陥データを自動で覚え込ませ（学習機能）、欠陥の自動分類や解析の確度を向上させ、検査工程の効率化・省力化を実現します
50mm（2"）から200mm（8"）に対応する専用のウェハ・ローダーが1カセットの自動検査を実現します
サブストレート・ウェハ
エピ・ウェハ
パターン・ウェハ
ダイ・ウェハ
デバイス単体
ステージ
機能
可動範囲
ボールねじピッチ
耐荷重（中心位置）
繰り返し精度
フレーム構造
稼働ステップ
移動平行度
ステージ重量
リミットスイッチ
ウェハチャック（オプション）
200mm X-Y軸
2mm
2.27 kg
+/- 5 μm
a) 高精度仕上げアルミプレート
b) ステンレス製チャンネル
0.04 μm
30 μm
5.44 kg
機械式
50, 75, 100, 150, 200, 300 mm
複数の倍率設定
高速スキャン
モザイク
任意設定可能な不具合報告書
シングル・スキャン認定
ウェハサイズ、欠陥タイプ、
スキャン解像度の設定オプション
各種試料チャックサイズ
自動ウェハ・ローダー
全自動対応
コントロール
ステージ、フォーカス、ノーズピース、イルミネーション、カメラは全自動でコントロールします。
また、任意でマニュアルコントロールも可能です。
ウェハ・ローダー
キャリア
対応サイズ
外寸（幅 x 長）
ローダー重量
真空
電源
25枚仕様対応
75, 100, 150, 200, 300 mm
36 cm x 75 cm
34 kg
0.06 MPa（67.7 kPa）
100 V / 200 V
カメラ
ピクセルサイズ
視野サイズ
フレームレート
4.54 μm
2752 x 2200 pixels
17.4 fps
オプション
AFM（原子間力顕微鏡）
光学系
照明
レンズ
微分干渉観測
白色LED（他オプション有り）
5, 10, 20 or 50 x
ノーマルスキー型
※nSpecは、米国Nanotronics社の米国およびその他の国における登録商標です。