nSpec

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自動光学検査システム

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​磁気ヘッド、MEMS、セラミック素子やSiC、GaNなどの化合物半導体の開発・製造現場で工程管理の精度向上と省力化を実現します。

nSpecはすべてのデバイスとウェハーの解析に対応します。
 

AIを駆使した画像処理ソフトでサブミクロンレベルの欠陥を認識、位置特定、さらに欠陥種類の分類を自動で行います


検査で得られた多種多様な欠陥データを自動で覚え込ませ（学習機能）、欠陥の自動分類や解析の確度を向上させ、検査工程の効率化・省力化を実現します


50mm（2"）から200mm（8"）に対応する専用のウェハ・ローダーが1カセットの自動検査を実現します

サブストレート・ウェハ​

エピ・ウェハ

パターン・ウェハ

ダイ・ウェハ

​デバイス単体

ステージ

機能

可動範囲

ボールねじピッチ

耐荷重（中心位置）

繰り返し精度

​フレーム構造

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稼働ステップ

移動平行度

ステージ重量

リミットスイッチ

ウェハチャック（オプション）

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​

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200mm X-Y軸

2mm

2.27 kg

+/- 5 μm

a) 高精度仕上げアルミプレート

b) ステンレス製チャンネル

0.04 μm

30 μm

5.44 kg

機械式

50, 75, 100, 150, 200, 300 mm

複数の倍率設定

高速スキャン

モザイク

​任意設定可能な不具合報告書

シングル・スキャン認定

ウェハサイズ、欠陥タイプ、
スキャン解像度の設定オプション

各種試料チャックサイズ

​自動ウェハ・ローダー

全自動対応

​コントロール

ステージ、フォーカス、ノーズピース、イルミネーション、カメラは全自動でコントロールします。

​また、任意でマニュアルコントロールも可能です。

​ウェハ・ローダー

キャリア

対応サイズ

外寸（幅 x 長）

ローダー重量

真空

​電源

25枚仕様対応

75, 100, 150, 200, 300 mm

36 cm x 75 cm

34 kg

0.06 MPa（67.7 kPa）

100 V / 200 V

カメラ

ピクセルサイズ

視野サイズ

​フレームレート

4.54 μm

2752 x 2200 pixels

17.4 fps

オプション

AFM（原子間力顕微鏡）

​光学系

照明

レンズ

​微分干渉観測

白色LED（他オプション有り）

5, 10, 20 or 50 x

​ノーマルスキー型

※nSpecは、米国Nanotronics社の米国およびその他の国における登録商標です。