2016 Aamilia Japan GK All Rights Reserved.

 

<イベント情報> アミリアジャパンは以下の学会/展示会に出展いたします。

先進パワー半導体分科会 第6回 講演会​@広島国際会議場

日程:2019年12月3日(火)~4日(水)  小間情報:大会議室ダリア E15

製品情報:SiCウエハー検査装置 [nSpec] 米国Nanotronics社製

・高精度顕微鏡と画像処理の組み合わせでサブミクロンの欠陥を検出します

・AIベースのソフトウェアでより多くの欠陥形状の自動分類を行います

・マイクロパイプや粒子タイプの欠陥を定量化します

・SiCウエハー・アプリケーションに最適です

​・エッチングされていない、エッチングされた、ベア、エピ、またはパターン化されたウエハー検査が可能です

第34回 インターネプコンジャパン 第21回 半導体・センタパッケージング技術展@東京ビッグサイト

日程:2020年1月15日(水)~17日(金)  小間情報:西ホール2 N-965

製品情報:[nSpec] 米国Nanotronics社製

・ウエハー/デバイス表面の欠陥、パーティクルの種類、大きさ、位置などを定量的に評価する

・機械学習・深層学習機能により欠陥/パーティクルを自動分類する

・検出した「異なる種類の欠陥」や「パーティクル」の結果から製品の最終性能や歩留まりとの相関の有無を検証する

・「キラーディフェクト」や「性能を左右する欠陥」の種類あるいは大きさのデータから製品の歩留まりを改善するためのフィードバックをかける